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干涉仪配件-平面标准镜

干涉仪配件-平面标准镜

也称参考镜，是干涉仪的核心基准元件，它提供了一个已知超高精度的光学平面，通过比较待测元件表面与平面标准镜的反射光形成的干涉条纹，来测出待测元件的表面面形。

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也称参考镜，是干涉仪的核心基准元件，它提供了一个已知超高精度的光学平面，通过比较待测元件表面与平面标准镜的反射光形成的干涉条纹，来测出待测元件的表面面形。

优势

1、高精度与高稳定性；

2、高性价比；

3、接受用户定制开发。

主要技术指标

项目名称

性能指标

材质

微晶或石英材料，接受指定

口径

不小于Φ350mm

面形精度

PV≤0.1λ，RMS≤0.02λ@λ=632.8nm

光洁度

优于40/20

厚度

接受定制

标准镜架

配备


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