也称参考镜,是干涉仪的核心基准元件,它提供了一个已知超高精度的光学平面,通过比较待测元件表面与平面标准镜的反射光形成的干涉条纹,来测出待测元件的表面面形。
优势
1、高精度与高稳定性;
2、高性价比;
3、接受用户定制开发。
主要技术指标
项目名称
性能指标
材质
微晶或石英材料,接受指定
口径
不小于Φ350mm
面形精度
PV≤0.1λ,RMS≤0.02λ@λ=632.8nm
光洁度
优于40/20
厚度
接受定制
标准镜架
配备