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干涉仪配件-五维调整架

干涉仪配件-五维调整架

五维调整架是一种高精密的定位装置，用于对待测光学元件进行五个自由度的精确调整，确保待测元件与干涉仪的光束精确同轴，从而实现高精度的面形检测。

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五维调整架是一种高精密的定位装置，用于对待测光学元件进行五个自由度的精确调整，确保待测元件与干涉仪的光束精确同轴，从而实现高精度的面形检测。

优势

1、覆盖了光路对准所需的全部核心自由度；

2、调节精度高，操作直观；

3、结构紧凑，易于集成，性价比高。

主要技术指标

项目名称

性能指标

x、y、z平移功能

具备x、y、z平移功能

方位倾斜调整功能

具备方位俯仰、偏摆调节功能

平移行程范围及精度

≥20mm，优于0.005mm

倾斜调整范围及精度

倾斜调整范围不小于2°，精度优于1′

负载

≥300kg


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