测量方式

菲索干涉原理

移相方式

波长移相或机械移相

主机波长

632.8nm(可定制)

主相机分辨率

2048*2048

测量口径

6-inch

出光口径

≥150mm

主相机调焦能力

有

主相机采集速度

50Hz

透射平面参考镜面形误差(PV)

λ/10

反射平面参考镜面形误差(PV)

≤λ/10(可定制1/20)

空腔精度(PV)

≤λ/10, λ=632.8nm

面形误差测量重复性(RMS)

≤0.6nm

面形精度RMS

≤0.002λ，λ=632.8nm

测量高平行度光学元件透、反射波前

支持

标准配件

计算机、条纹监视及分析软件

相干长度

1.0m(若被扩束，此参数会变长)

工作温度要求

22°C +1°C

工作温度波动要求

每小时变化小于1°C

工作湿度要求

55%±10%RH

隔震要求

气浮平台，固有频率:1-2Hz

工作电压

AC 110-220V,50/60Hz