设备由单台或多台机器人、力控系统、转台、抛光液循环及软件控制系统组成，具备单台或多台机器人协同加工功能，可按任务分区域加工（通过驻留时间控制材料去除量），也可双螺旋遍历加工（转台旋转、两个机器人同时在半径方向运动，通过抛光轮转速控制材料去除量）。

       设备配置高精度力控模块，本体为闭环或半闭环控制的精密气缸，能够精确控制输出力；具有行程、倾角、输出力等信息的采集与显示功能；具有重力补偿和角度补偿功能，能够消除由于工具重量和倾斜角度变化引起的输出力的变化；

       设备根据工件大小配置转台，转速可调；工件台周围有光学元件对心调节机构；工件台面具有回流槽；回流槽具有坡度可使抛光液快速回流；抛光液从工件台圆周回流；

        设备同时配置有抛光液循环系统，每台机器人配备两套抛光液循环系统，使用不同抛光液材料；两套系统独立运行，可实现手动与自动切换；抛光液流量可调节，调节好后流速稳定；储液罐具有搅拌功能，使抛光液浓度保持稳定；具有粗滤和精滤两级过滤，滤芯可定期更换；抛光液储液罐低液位报警功能；

        设备配备小磨头及轮式抛光头；