优势

1、具有气囊背压功能，可兼容多区加压抛光头；

2、灵活RECIPE设定，高质量的SFQR和ESFQR;
3、可兼容6或8寸抛光头，便捷更换式抛光盘；
4、 可使用摩擦力重点检测或光学终点检测功能；

5、3路独立供液管路；

6、占地面积小；