1 

最大检测口径

500mm×500mm×100mm

     2 

检测灵敏度

≤10μm

     3 

检测误差

相对标称值不大于10%

     4 

定位误差

≤0.5mm

     5 

扫描重复定位精度

≤5μm

     6 

检测速度

≤20分钟（通光口径430mm×430mm）

     7 

全口径范围内原位测量分辨率

优于1μm

     8 

面照明下单次成像口径

≥50mm×50mm

     9 

全口径三维大视场面成像层析厚度

全口径三维大视场面成像层析扫描，深度层析最小厚度达到1mm，且根据测量需要深度层析厚度在1mm~5mm范围内可调