近期，我司联合上海光机所精密光学制造与检测中心通过持续的技术攻关，在“低污染离子束抛光装备研制及工艺”上取得重要突破。低污染离子束抛光装备具有加工污染低、去除函数精度高、收敛效率快、可以针对特定光学指标进行修复的特点，可有效提升强激光元件的修形效率、修形精度及表面质量。  

       离子束抛光装备是强激光、空间探测、纳米光刻等高新技术领域的核心关键装备。目前离子束抛光装备普遍存在修形过程的污染问题，会极大的影响被加工元件的损伤阈值，限制了元件的使用范围；而且现有离子束装备修形方式单一，无法对不同的指标需求实现针对性的去除，效率低。  

       在团队科研人员的努力下：通过真空获取方式的流场模式分析与控制、低污染离子源结构设计优化以及引进束流预清洗等技术，可以有效实现离子束抛光装备的低污染加工；基于对离子束加工热效应影响去除非线性的特征，提出了变去除函数模式对非线性过程进行补偿，实现了高精度去除函数pm精度计算算法；结合实际工艺需求，开发了针对低频PV、梯度GRMS和中频PSD-1等不同参数的定制化加工算法，可使目标指标快速收敛，极大地提高了加工效率。

       利用自研样机对样件的加工全方位验证了上述系列关键技术。低污染离子束抛光样机核心器件国产化率达100%，该设备的研制成功和工艺技术的进展可以进一步打破我国在该类加工设备领域面临的进口受限的局面。