11月4日恒迈光学精密机械（杭州）有限公司在杭州组织召开了1米大口径应力检测仪的出厂验收评审，有来自北京人工晶体总院有限公司、中物院8所、菲利华石英玻璃有限公司、中国建筑材料科学研究总院、神光石英有限公司、上海光机所等单位的多名专家参加了验收评审。大家一致认为该台应力仪指标全部满足合同指标要求，可以达到国外同等水平。
应力仪主机
应力仪测量结果
应力仪测试界面
该应力仪主机是基于偏振光测量原理进行设计开发的，设备自主可控率可以达100%。设备测试精度优于0.1nm/cm、单口径测量时间小于2s、可自动以文件形式存储测量结果并将测量结果以二维图像显示。实际元件的测量口径可以通过数字化拼接进行扩大，最大可以满足2米及以上元件的测量需求。该设备的研制成功可以进一步打破我国在该类仪器领域面临的进口受限的局面。
恒迈光学精密机械（杭州）有限公司成立于2020年01月，注册资金壹仟壹佰贰拾万元，坐落于富春江畔的浙江省杭州市富阳区，是杭州光学精密机械研究所重点孵化的高科技创新型企业，公司核心创始人和技术团队由多名具有国外留学经历博士、博士后以及具有光学和半导体领域资深背景的专业人士组成。研发人员硕士以上学历比例达到80%，公司有近2000平方米的百级、千级洁净等级的关键技术实验室与总成车间。检测设备齐全，具有较强的硬件支撑能力，公司专注于超精密光学加工装备、半导体CMP抛光装备以及精密检测仪器的设计研制与开发，公司拥有多项自主知识产权的高动态、高刚度和高效能的机床设计技术、加工过程“实时原位”检测技术和基于“稳、准、精”的先进光学测量技术，加工设备与检测仪器双引擎驱动、双剑合璧。
产品中心
光学精密加工装备（智能环型抛光机、机器人抛光机、离子束抛光机）
半导体加工装备（晶圆CMP、掩模基板抛光机等）
精密检测仪器（波长移相激光干涉仪、数字应力仪等）
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