机器人研抛一体机

基于工业机器人的小工具加工机床,利用小工具在元件表面高速旋动,实现对平面、球面及非球面元件面形快速收敛。
利用自主研发的基于力控传感器的柔性抛光头,确保抛光过程中材料去除函数稳定可控,从而实现超精密元件表面的高精度加工,配合全链路工艺、软件,实现光学元件从研磨到精密抛光的全链路加工。

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基于工业机器人的小工具加工机床,利用小工具在元件表面高速旋动,实现对平面、球面及非球面元件面形快速收敛。
利用自主研发的基于力控传感器的柔性抛光头,确保抛光过程中材料去除函数稳定可控,从而实现超精密元件表面的高精度加工,配合全链路工艺、软件,实现光学元件从研磨到精密抛光的全链路加工。

优势
1、基于工业机器人专用控制系统,实现高精度表面成型。
2、基于力控传感器的柔性抛光头设计,精确控制加工过程去除函数。
3、根据加工要求,开放式全链路加工工艺软件开发。
4、根据客户要求定制开发


主要技术指标

项目
参数指标
可加工元件材料
熔石英、K9、微晶等光学元件;合金铝等金属元件
可加工元件最大尺寸
φ2000mm
抛光工具转速
50-800RPM
力传感器量程
Fx/Fy:100N; Fz:200N
力传感器精度
非线性和滞后优于 0.5%,串扰优于 2%
力传感器分辨率
Fx/Fy:0.09N; Fz:0.33N
工具轴运动范围
1:±180°
2:-90°至+150°
3:-180°至+75°
4:-400°至+400°
5:-125°至+120°
6:-400°至+400°
工具轴最大运动速度
1-6轴均为175°/s
重复定位精度
0.06mm
面积需求
3.5m×3.5m×3m
温度要求
22±0.5℃
湿度要求
40%-80% RH