基于工业机器人的小工具加工机床，利用小工具在元件表面高速旋动，实现对平面、球面及非球面元件面形快速收敛。
利用自主研发的基于力控传感器的柔性抛光头，确保抛光过程中材料去除函数稳定可控，从而实现超精密元件表面的高精度加工，配合全链路工艺、软件，实现光学元件从研磨到精密抛光的全链路加工。

点击获取更多技术资料