大口径激光干涉仪

激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌,测量精度高达 0.06um 甚至更高,广泛用于平面光学元件高精度检测。

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激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌,测量精度高达 0.06um 甚至更高,广泛用于平面光学元件高精度检测。

优势
1. 准确测量大口径的光学元件的透射波前、反射波前。
2. 测量精度和测量重复性能媲美美国 Zygo 和 4D 干涉仪。
3. 根据客户要求定制开发。

主要技术指标

技术参数产品系列
Φ310mm 移相数字化干涉仪
Φ600mm 移相数字化干涉仪
Φ800mm 移相数字化干涉仪
有效通光口径
φ300
φ590
φ790
移相方式
波长移相
偏振移相或波长移相
偏振移相或波长移相
空腔指标
PV ≤ λ/10,λ=632.8nm
PV ≤ λ/10,λ=632.8nm
PV ≤ λ/10,λ=632.8nm
重复精度测量
≤ 1nm(RMS)
≤ 1nm(RMS)
≤ 1nm(RMS)
标准镜材料
TF 镜 采 用 石 英 材 料,RF 镜
采用微晶玻璃,面型精度均
≤ λ/12,λ=632.8nm

TF 镜 采 用 石 英 材 料,RF 镜
采用微晶玻璃,面型精度均
≤ λ/12,λ=632.8nm
标 准 透 射 TF 镜 面 形 PV 优 于 λ/12
(λ=632.8nm), 标 准 反 射 RF 镜 面
形 PV 优于 λ/10(λ=632.8nm)
测量方式
菲索干涉原理
菲索干涉原理
菲索干涉原理
激光源
氦氖激光器,λ=632.8nm
氦氖激光器,λ=632.8nm
氦氖激光器,λ=632.8nm
电源
AC220V 50HZ
AC220V 50HZ
AC220V 50HZ
标准配件
计算机及测量分析软件
计算机及测量分析软件
计算机及测量分析软件