4吋激光干涉仪

激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌,测量精度高达 0.06um 甚至更高,广泛用于平面光学元件高精度检测。

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激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌,测量精度高达 0.06um 甚至更高,广泛用于平面光学元件高精度检测。

优势

1. 准确测量 100mm 口径以下的光学元件的透射波前、反射波前。
2. 测量精度和测量重复性能媲美美国 Zygo 和 4D 干涉仪。
3. 根据客户要求定制开发。


主要技术指标