100mm口径激光干涉仪

激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌,测量精度高达 0.06um 甚至更高,广泛用于平面光学元件高精度检测。

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激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌,测量精度高达 0.06um 甚至更高,广泛用于平面光学元件高精度检测。

优势
1. 准确测量 100mm 口径以下的光学元件的透射波前、反射波前。
2. 测量精度和测量重复性能媲美美国 Zygo 和 4D 干涉仪。
3. 根据客户要求定制开发。


主要技术指标

技术参数产品系列
激光平面干涉仪
有效通光口径
φ100
移相方式
PZT 机械移相
空腔指标
PV ≤ λ/10,λ=632.8nm
重复精度测量
≤ 1nm(RMS)
标准镜材料
TF 镜采用石英材料,RF 镜采用微晶玻璃,
面型精度均≤ λ/20,λ=632.8nm

测量方式
菲索干涉原理
激光源
氦氖激光器,λ=632.8nm
电源
AC220V 50HZ
标准配件
计算机及测量分析软件